ADE-MicroXam

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White Light Interferrometer(간섭계) 타입 3차원 측정기.

3차원 비접촉식 표면 형상 측정기(백색광 간섭계 원리)

Repetability 1Angstrom(=0.1nm) ----->AFM(SPM)급 측정으로 대면적 XY축 100mm~300mm 광범위한 측정범위

기존의 AFM의 한계를 극복한 미국 최신기술

WLI 간섭계를 이용한 사양

1.수직측정반복도(Repetability):

Standard Mode-1nm

Precise Mode-0.1nm(=1Angstrom)

수직5~10mm 측정 Mode-10~100nm

2.수직 측정범위 : 30µm/100µm/5mm~10mm

(측정범위에 따라, 수직측정 분해능 0.1nm/1nm/1micron

으로 달라짐,세가지 측정범위의 센서능력)

3.Mirau Objective :50x,20x,10x 대물렌즈

Michelson Objective: 5x,2.5x 대물렌즈

한시스템에 적용하여 샘플에 따라, XY축 측정 범위 다양화함

4현미경적용; Trinocular Head적용하여 Eye piece에 의한 작업자의 표면검사분석

뿐 아니라 실시간 Video Display

5.Autofocusing:자동에 의한 샘플의 촛점 맞춤 방식으로 간섭무늬를 자동 인식하여

작업자가 번거로운 Focusing작업을 배제하고 매우 편하게 측정시작

6.센서 Head의 수직측정각도를 +/-7도까지 Tilting가능하여,

경사 및 특수한 표면 측정 가능.

7.상용화된 SPM유명 공급자:Veeco,PSI, Jeol등 유명공급사의 측정데이터와

이미지 호환 하여 분석 가능한 소프트웨어 적용.

Technical Specification

박막의 증착공정제어 옵틱센서 시스템

전화 : 02 - 3411- 0173 팩스 : 02 - 3411 - 0178