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일본 SPLEAD사
"PLD-Pulsed Laser Depostion System"
PLD모델 2가지와 800도씨고압진공장치
특징:
- 증착기의 능력에 비하여 크기와 구성이 매우 Compact하여 좁은공간에서 편리하고 신속하게 사용이 가능하다.
- 고온 1000도씨, 산소와 고압 50Pa초과 압력에서 , 모재가열은 Sic가열에 의해 이루어진다.
- 초고진공으로부터 고압(10kPa)적용이 가능하다.
- 다양한 선택사양이 가능하다. 즉, lex, high pressure RHEED system, RF Radical source, K-Cell, Sputter and more.
설명:
SPLEAD사의 PLD는 직경 2inch 크기의 샘플모재위에 고품질의 코팅막을 증착할 수 있습니다.
이 시스템은 SUS304챔버를 사용하고, 앞쪽 문은 빠른 접근이 용이하게 합니다. 챔버는 다각도의 사용자를 위한 보조장치를 제공하여 모재를 시험하고 보는데 필요한, K-Cell, RF radical source,Sputter source, 여러가지 Spectrocopy등을 연계하여 사용 가능합니다.
이 장치의 모재 가열장치는 SiC를 사용하여 고압에서나 고농도의 산소에서 사용하기 쉽게 합니다. 실리콘이나 비투명모재는 1000도씨까지 가열이 됩니다.
수냉각장치는 챔버와 모재의 기계적작동을 유지시켜줍니다.
완벽하게 밀봉된 Optical train장치즌 레이저를 챔버로 유도하고, 이레이져는 수정유리창 혹은 옵션장치인 intelligent window를 통하여 유도 되고, Turbo molecular 펌프와 완벽한 진공 게이지는 10-6Pa미만으로 압력을 달성하게 한다.
일정한 압력은 MFC장치에 의해 얻어지고, Valve와 Capacitance manometer에 의하여 이루어진다.
SPLEAD사는 세계의 유명 진공장치부속품을 사용하며, 재료연구, device연구, 생산라인 프로토타입용으로 우수한 진공증착장치를 공급 합니다.
Model PLD-SPV266
Model PLD-SPV4221
High Power Pulsed Nd: YAG-Lasers
CHAMBER
SPLEAD PLD system that Highest performance with lowest price
Feature
| Model | 모델 PLD-SPV266[1inch model] | 모델 PLD-SPV4221[2inch model] | ||
|---|---|---|---|---|
| Specification | -S | -UHV | -S | -UHV |
| Chamber | Dia. 200x400 SUS304 |
Dia. 200x400 SUS304 Electro polished |
Dia. 260x400 SUS304 |
Dia. 260x400 SUS304 Electro polished |
| Pump | >250L/s Turbopump and Mechanical pump |
>350L/s Magnetic floating Turbopump and Mechanical pump | >500L/s Turbopump and Mechanical pump |
>800L/s Magnetic floating Turbopump and Mechanical pump |
| Base pressure | 1x10e-5 Pa | 5x10e-7 Pa | 2x10-6 Pa | 1x10e-7 Pa |
| Substrate heating |
Material: SiC Max dia.: 1 inch MaxTemp.: 1000deg.C MaxPress.: 500mTorr |
Material: SiC Max dia.: 1 inch MaxTemp.: 1000deg.C MaxPress.: 500mTorr |
Material: SiC Max dia.: 2 inch MaxTemp.: 1000deg.C MaxPress.: 500mTorr |
Material: SiC Max dia.: 2 inch MaxTemp.: 1000deg.C MaxPress.: 500mTorr |
| Substrate Rotating mechanism | Rotation 20rpm Z-axis 40mm |
Rotation 20rpm Z-axis 40mm |
Rotation 20rpm Z-axis 40mm |
Rotation 20rpm Z-axis 40mm |
| Target and rotation mechanism | Dia.20mmx5mm (4cups) Axis rotation 20rpm |
Dia.20mmx5mm (4cups) Axis rotation 20rpm |
Dia.20mmx5mm (4cups) Axis rotation 20rpm |
Dia.20mmx5mm (4cups) Axis rotation 20rpm |
| Target exchange rotate | Manual operation | Plus motor controled | Manual operation | Plus motor controled |
| Gas inlet | MFC x1 Max: 50sccm |
MFC x1 Max: 50sccm |
MFC x1 Max: 50sccm |
MFC x1 Max: 50sccm |
| Laser and Optics | Yag Laser(266nm,90mJ) Dia.1inch-45deg.Mirror 22.5deg.Mirror or Excimor laser |
Yag Laser(266nm,90mJ) Dia.1inch-45deg.Mirror 22.5deg.Mirror or Excimor laser |
Yag Laser(266nm,90mJ) Dia.1inch-45deg.Mirror 22.5deg.Mirror or Excimor laser |
Yag Laser(266nm,90mJ) Dia.1inch-45deg.Mirror 22.5deg.Mirror or Excimor laser |
| Load lock system | NO (Option available) |
Dia.200x200mm SUS304 Turbopump vacuuming Trasfer-rod system |
NO (Option available) |
Dia.300x200mm SUS304 Turbopump vacuuming Trasfer-rod system |
Option
- Dry pump, Powerful TMP package.
- RHEED, High-pressure RHEED package.
- Spectroscopy, Spectrometer measurement system.
- Pyrometer measurement system.
- Intelligent window.
- K-Cell, Sputter source.
- RF radical source.
- Automated system controller.
- LabVIEW Development System. and more.
- Note: Specifications subject to change.e.
전화 : 02 - 3411- 0173 팩스 : 02 - 3411 - 0178
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